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多晶矽鑄錠石英坩埚為什麼要用熔融石英料

發布日期:2017-10-28 作者: 點擊:

    石英坩埚是由高純石英砂制成,二氧化矽含量超過99.9%,具有高溫不變形、耐化學侵蝕性好等特點。

    方形的高純石英坩埚用在多晶矽鑄錠環節,充當多晶矽化料和長晶的容器;圓形石英坩埚則用在單晶矽中拉制單晶。

熔融石英粉

    高純石英砂是生産石英坩埚的必要原料。單晶矽拉晶的成功率及晶棒品質取決于多種因素,石英坩埚内壁的氣泡含量就是其中重要因素之一。如果石英砂雜質含量較多,在高溫熔制過程中容易産生黑點氣泡。在拉制單晶矽過程中石英坩埚會長時間處于高溫環境下,高溫會使石英坩埚内壁所合氣泡受熱釋放,從而影響到拉晶的穩定性和成功率。

    國際市場的競争中,标準會對企業帶來巨大的影響。《GB/T 32652——2016多晶矽鑄錠石英坩埚用熔融石英料》國家标準的研究與制訂,對于多晶矽鑄錠石英坩埚用熔融石英料生産有着巨大的促進作用,也能夠為生産廠家在國際市場上的競争奠定良好的基礎。







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