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熔融石英坩埚的燒成工藝特點與發展趨勢

發布日期:2018-02-24 作者:admin 點擊:

  多晶矽鑄錠用石英坩埚(石英方坩埚)的生産過程對燒制環節提出了嚴格的工藝要求,特别是用于準單晶鑄錠用的熔融石英坩埚。


  多晶矽鑄錠用石英坩埚的形态上的發展趨勢是:大件(G6石英方坩埚規格達到1040mm×1040mm×500mm)、壁薄(16mm-20mm)、冷卻過程初始需要快速冷卻(熔融石英的結晶工藝要求)。


  準單晶鑄錠用的熔融石英坩埚還對産品提出了更高的綜合性能,如更好的強度與熱傳導性、更低的顯氣孔率與熱膨脹系數、更均勻的密度分布等等。


  對此,業界窯爐供應商ASBKILNS在2011年10月份最新推出了"複合脈沖燃燒控制技術"和"快速冷卻系統",并将其應用至石英方坩埚窯爐(石英方坩埚梭式窯、石英方坩埚隧道窯)設備中,能使大件壁薄的石英方坩埚制品在升溫與保溫過程獲得更均勻的熱場和快速的冷卻速度,大大提高石英方坩埚的燒成合格率。


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